研磨盤平面度是研磨的基準，是得到精密工件平面的保證。在研磨的過程中，研磨盤的平面度會下降，主要原因研磨盤的內外線速度不同，磨損不一致造成。研磨盤需定期修整平面。修整的方法有兩種：1是采用基準平面電鍍金剛石修整輪來修面，由于電鍍金剛石修整輪基本不磨損，可得到較高的平面度。2是通過修整機構修面后，也可獲得較好的平面度，這種修整的原理與車床原理一致，研磨盤旋轉，一個可前后運動的刀在刀桿的帶動對研磨進行切削獲得平面。 

研磨機的類型：

　　主要有圓盤式研磨機、轉軸式研磨機和各種研磨機。研磨機控制系統以PLC為控制核心，文本顯示器為人機對話界面的控制方式。人機對話界面可以就設備維護、運行、故障等信息與人對話；操作界面直觀方便、程序控制、操作簡單。安全考慮，非正常狀態的誤操作無效。實時監控，故障、錯誤報警，維護方便　研磨，是利用涂敷或壓嵌在研具上的磨料顆粒，通過研具與工件在一定壓力下的相對運動對加工表面進行的精整加工（如切削加工）。研磨可用于加工各種金屬和非金屬材料，加工的表面形狀有平面，內、外圓柱面和圓錐面，凸、凹球面，螺紋，齒面及其他型面。加工精度可達IT5～01，表面粗糙度可達Ra0.63～0.01微米，屬于精密加工 。

平面研磨機工作原理：

　　平面研磨機為精密研磨拋光設備，被磨、拋材料放于平整的研磨盤上，研磨盤逆時鐘轉動，修正輪帶動工件自轉，重力加壓或其它方式對工件施壓，工件與研磨盤作相對運轉磨擦，來達到研磨拋光目的。產生磨削作用的磨料顆粒有兩種來源，一種來自于不斷外加（常稱為游離磨料）；另一種方法是將磨料顆粒固定在研磨盤中（常稱為固著磨料）。

平面研磨機主要用途：

　　平面研磨機廣泛用于LED藍寶石襯底、光學玻璃晶片、石英晶片、硅片、諸片、模具、導光板、光扦接頭等各種材料的單面研磨、拋光。